PES-2020 e-Beam System®
用途:半導体ウェハ検査装置

  1. 【 製品の特長 】
  • ショットキーより10倍以上明るい電子ビーム 測定データ
  • 世界初のDigital Selective e-Beaming™ (DSeB) 機能 試験例
  • マルチビーム対応、および任意な形状の電子ビームを形成可能 コンセプト形状
  • 長時間運転中も高い稼働率と優れた出力安定性を維持 連続試験結果
【本体仕様】
加速電圧: -50kVまで調整可能
ビーム電流: 200 uA以上
寸法: 821 mm x 722 mm x 562 mm (H x W x D)
重量: 140 kg
レーザークラス:クラス 4
安全規格:SEMI S2 適合