当社は、熊本城ホール（熊本県熊本市）で2026年11月6日・7日に開催される日本顕微鏡学会第69回シンポジウムにおいて講演します。
本講演では、当社独自のGaN型光陰極による動的電子ビーム制御技術と、それらを活用した半導体SEM解析への応用例についてご紹介いたします。三次元構造化や微細化が進む先端半導体製造において、電子顕微鏡解析がもたらす新たな展開についてお伝えいたします。
■ シンポジウム概要
•名 称 ：公益社団法人日本顕微鏡学会 第69回シンポジウム
•テーマ ：顕微鏡学が拓く半導体イノベーションとライフサイエンスの新展開
•開催期間 ：2026年11月6日（金）～ 7日（土）
•開催場所 ：熊本城ホール（熊本県熊本市中央区）
■ 当社講演概要
•日時：2026年11月6日（金）13:30-15:00（シンポジウムS-3）
•セッション名：（S-3）半導体解析手法の現状および新展開
•タイトル：GaN 型光陰極による動的電子ビーム制御と半導体 SEM 解析への応用
•講演者：西谷 智博（株式会社Photo electron Soul）