当社は、日立馬場記念ホール(東京都国分寺市)で、2026年7月13日〜17日に開催される第39回国際真空ナノエレクトロニクス会議(IVNC2026)において、招待講演およびポスター発表を行います。
招待講演では、半導体デバイスの検査・計測におけるGaN半導体フォトカソード電子ビーム技術に基づく当社独自のソリューションについて、そのコンセプトと実際のアプリケーションを中心に講演します。
また、ポスター発表では、これらソリューションの実際の検査・計測現場での実用性を裏付ける「GaN半導体フォトカソードの堅牢性・寿命」について紹介します。
■ 国際会議概要
•名称:第39回国際真空ナノエレクトロニクス会議(IVNC2026)
•開催期間:2026年7月13日 〜 17日
•開催場所:日立馬場記念ホール(東京都国分寺市)
■ 招待講演内容
•日時:2026年7月14日(火) 9:55~10:20
•タイトル:GaN Photocathode-Based Photoelectron Beam for Semiconductor Metrology and Inspection: Concepts and Applications
•講演者:西谷智博(株式会社Photo electron Soul)
■ ポスター発表内容
•日時:2026年7月14日(火) 17:00~19:00
•タイトル:Robustness and Lifetime Performance of NEA-InGaN Photocathodes at Practical Current Densities for SEM Applications
•発表者:小泉淳(株式会社Photo electron Soul)