米国で開催されるシンポジウム"The 65th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN 2022)"において次の4件の講演を行います。

開催期間:2022年5月31日~6月3日
開催場所:ニューオリンズ, 米国

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発表内容
1. Generation of higher than 1000 A/cm2 continuous wave electron beam emission from InGaN photocathode, A. Koizumi, D. Sato, H. Shikano, T.Nishitani, Photo electron Soul Inc.

2. Pulsed electron beam generation from InGaN photocathode, D. Sato, H.Shikano, A. Koizumi, T. Nishitani, Photo electron Soul Inc.

3. Effect of threading dislocation density on electron emission yield inInGaN photocathode, M. Idei, D. Sato*, A. Koizumi*, T. Nishitani*, Y.Honda**, H. Amano**, Dept. of Electronics, Nagoya Univ., *Photo electron Soul Inc., **IMaSS, Nagoya Univ.

4. SEM imaging by selective e-beaming using photoelectron beams from semiconductor photocathodes, T. Nishitani, H. Iijima, Y. Arakawa, S.Noda, A. Koizumi, D. Sato, H. Shikano, Y. Honda*, H. Amano*, Photo electron Soul Inc., *Nagoya University

 

EIPBNは、電子・イオン・光の3つのビームから「スリービーム」の愛称で親しまれ、電子・イオン・光のソース技術を発端としたリソグラフィー、イメージング、分析、原子レベルの加工、ナノ加工プロセスやその関連の新技術、およびその幅広い分野への応用を専門とする科学者と技術者が集う会議になります。今回で65回目を迎えるEIPBNは、世界中の大学、研究所、産業界からトップレベルの研究者が集まり、これらの技術に関する最近の動向や将来の方向性について発表・議論されます。