当社製品PeS 2020 e-Beam System®️(半導体フォトカソード型電子ビーム生成システム)において、エミッション電流15 μAで1,000時間の連続運転を実施しました。このときの beam uniformity は0.03%台、また uptime は96%でした。

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これまで、半導体フォトカソード電子ビームは、優れた性能を持ちながらも長期間のビーム生成は困難なため、生産用途には適さないと考えられていましたが、この結果は今までの概念を覆すものです。なお、この結果は現時点で紹介可能なものであり、引き続きテストは継続中です。テストを通じ、さらなる性能向上を実現し続けております。