SEMICON JAPAN, Metorology & Inspection Summit 2025
未来を測る！デバイス・装置・アナリスト・研究開発、第一線のエキスパートが集結
会期：2025年12月17日 (水) 〜 19日 (金)
場所：東京ビッグサイト、東京
登壇カンファレンス： Metrology & Inspection x 産官学協同 2nmを越えて:日本の産官学協同研究開発最前線
登壇日時： 2025/12/18(木) | 15:30 – 17:00
題目： 「GaN光電子ビームが繋ぐ学術と産業 – 検査・計測の新たな地平へ」、西谷智博、CTO
概要： GaN型半導体フォトカソードによる光電子ビームは従来電子源を原理から刷新し、光励起による高速応答と高安定性の両立を実現しました。
本講演では、電子ビーム方式による非接触電気計測や深い穴底部構造の高精度検出など、次世代半導体製造に向けた応用展開を紹介します。