第14回ナノテスティングシンポジウム（主催：ナノテスティング学会）
2025年11月11日(火)～13日(木)、千里ライフサイエンスセンター、大阪、日本
講演セッション：Metrology and Inspection III
講演日時：11月12日(水) 15:36-16:01
講演題目：GaN半導体ベースの光電子ビーム技術を用いた電子線誘起によるMOSFETの局所的な電気的駆動のその場SEM観察
（西谷智博a,b,佐藤大樹a,b, 荒川裕太a, 新美浩太郎a, 小泉 淳a, 飯島北斗a, 本田善央b, 天野浩b）
（a.(株)フォトエレクトロンソウル,b.名古屋大学未来材料・システム研究所）
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https://inanot.sakura.ne.jp/nanots/nanots2025/#Metrology_and_Inspection_I