〜 半導体フォトカソード型電子ビーム生成システムの量産体制の強化 〜
名古屋大学発スタートアップである株式会社Photo electron Soul（以下「Photo electron Soul」）と芝浦メカトロニクス株式会社は、Photo electron Soulが開発する「半導体フォトカソード型電子ビーム生成システム」の量産・メンテナンスに関する資本業務提携について合意しました。
今後、両社の緊密な提携により「半導体フォトカソード型電子ビーム生成システム」をより多くの装置メーカー・チップメーカーへ供給すること通じ、従来電子ビームでは実現不可能なソリューションを提供し、半導体産業への貢献を目指していきます。