応用物理学会次世代リソグラフィ（NGL）技術研究会の NGL ワークショップ（ワーク ショップ NGL2025）において次の通りポスター発表を行います。
NGL ワークショップ（ワーク ショップ NGL2025）
開催期間：2025年 7月3日～ 7月 4日
開催場所： 東京科学大学 蔵前会館 、東京
発表内容
InGaNフォトカソード技術を用いた間欠ビーム照射によるピクセル選択型SEM撮像 Pixel-Resolved SEM Imaging Using Intermittent Beam Irradiation with InGaN photocathode
2025年 7月 3日 5: 45 PM – 7: 15 PM
詳細はこちら