【日本顕微鏡学会 第81回学術講演会】 最新成果を発表します
変調電子ビームによる帯電抑制SEM撮像/（株）東レリサーチセンターとの協働

2025年6月11日（水）、福岡で開催される日本顕微鏡学会 第81回学術講演会で発表（ポスター・口頭）します。
当社と東レリサーチセンターの協働による最新成果です。ぜひお立ち寄りください！

日本顕微鏡学会 第81回学術講演会
会期：2025年6月9日（月）〜11日（水）
会場：福岡国際会議場（〒812-0032 福岡県福岡市博多区石城町2-1）
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ポスターセッション
日時：2025年6月11日（水）11:45～12:15
会場：2F 多目的ホール
演題：P3-09
InGaN半導体フォトカソード電子銃を用いた変調電子ビームによる帯電抑制SEM撮像
安田 光伸^1,2, 西谷 智博¹, 荒川 裕太¹, 新美 浩太郎¹, 佐藤 大樹¹, 大塚 祐二²
（¹Photo electron Soul, ²東レリサーチセンター）

口頭発表
日時：2025年6月11日（水）14:30～14:45
会場：D会場
演題：3D_IMB-2_20
InGaN半導体フォトカソード電子銃を用いた変調電子ビームによるSEM撮像
安田 光伸^1,2, 西谷 智博¹, 荒川 裕太¹, 新美 浩太郎¹, 佐藤 大樹¹, 大塚 祐二²
（¹Photo electron Soul,²東レリサーチセンター）