名大発ベンチャー、Photo electron Soulが 半導体検査装置メーカーから受注獲得

~ 検査時間の大幅な圧縮につながる、nAオーダーのプローブ電流を実現 ~

名古屋大学発ベンチャー企業である、株式会社Photo electron Soul(本社:愛知県名古屋市、代表取締役:鈴木孝征、以下Photo electron Soul)は、半導体検査装置メーカーから電子ビーム生成装置を受注しました。
また、同メーカーと共同で実施している実機評価において、少なくとも従来の10倍以上高いプローブ電流(nAオーダー)を実現しました。これは、半導体製造の現場で深刻な問題となっている検査時間を大幅に圧縮することにつながります。

※詳細は以下プレスリリースをご覧ください